等離子凈化器技術是20世紀60年代興起的一門交叉，它是涉及物理學、化學、生物學和環(huán)境的一項全。等離子體被稱為物質(zhì)的第四態(tài)，有電子、離子、自由基和中性粒子組成，是導電性流體，總體上保持電中性。低溫等離子體技術在提高VOCs凈化效率上具有很大的優(yōu)點，在低溫等離子體去除污染物研究方面主要集中在以下幾個方面：

(1)產(chǎn)生等離子體的放電方式研究：等離子體的產(chǎn)生方式主要有表面放電、介質(zhì)阻擋放電、直流電暈放電、脈沖電暈放電等方法，實驗結(jié)果表明無論是哪種產(chǎn)生方式，低溫等離子體對污染物去除都發(fā)揮著作用，但是每種等離子體的產(chǎn)生方法都有著各自的優(yōu)缺點，有進行放電方式的選擇，在后文將詳述；

(2)低溫等離子體與催化劑結(jié)合作用的研究：這種催化劑通常為電介質(zhì)材料BaTi03、吸附材料(A1203或沸石BaTi03)、或具有光催化的材料Ti02等：通過反應器內(nèi)填充催化劑BaTi03，在外加交流電作用下較化填充料，從而在填充催化劑附近形成強電場，產(chǎn)生局部放電，其結(jié)果表明，催化劑BaTi03存在時，甲醛的去除率提高了近20%，苯的去除率提高10%左右，去除率提高了30%但實驗過程中，沒有探討二次污染物臭氧生成情況；在催化劑為BaTi03和A1203的研究方面：在單獨使用催化劑BaTi03時能量利用效率低，因A1203有很好的吸附性，將BaTi03和多孔A120：的混合作為填充料進行了實驗研究，通過實驗結(jié)果對比發(fā)現(xiàn)二者的混合作用提高了二碳的選擇性(表示反應的度)，同時降低了氮物的生成量，但是與此同時，在等離子體產(chǎn)生的同時會有大量臭氧的產(chǎn)生，BaTi03對臭氧并沒有的去除效果，二次污染仍然存在，而研究者并沒對臭氧的處理提出去除方法；在催化劑為Ti02或Mn02的研究方面：

通過將二欽及二錳作為催化劑對污染物進行去除實驗，以能量密度0.36kJ/L為例，苯去除率在36%左右，伴有大量臭氧的生成，在有催化劑二錳存在時，苯的去除率達55%左右，臭氧的生成量幾乎接近于零，在采用二欽時，苯的去除效果也增加了一倍左右，雖然臭氧的量限制，但實驗系統(tǒng)中實驗段為直徑為10.6mm的管結(jié)構(gòu)，對于較大結(jié)構(gòu)的反應器未作研究，因而不利于實際中反應器的放大。另外，在等離子體結(jié)合催化劑的過程中一些國內(nèi)研究者提出了一些有意義的建議，關于臭氧的去除問題，但并沒有提出合理的措施加快臭氧；利用等離子產(chǎn)生過程產(chǎn)生紫外光的作用，來激發(fā)T12產(chǎn)生空穴與電子去除物，驗證了低溫等離子產(chǎn)生過程中可發(fā)出低于激發(fā)納米T12波長的紫外光，起到光源的作用，對于低溫等離子體技術與光催化技術的結(jié)合有著重要的知道意義。

(3)低溫等離子體的反應器結(jié)構(gòu)研究：不同的電較結(jié)構(gòu)對于等離子體產(chǎn)生情況是不同的，產(chǎn)生低溫等離子體的電較結(jié)構(gòu)目前主要包括線一管、針一板、線一板、板一板等類別；

線一管電較結(jié)構(gòu)反應器：大部分的實驗結(jié)構(gòu)為線一管式填充反應器(如前面催化劑的討論)，線一管式兩級間距固定，等離子體從中心到外壁的傳播導致反應器內(nèi)形成不均勻的等離子區(qū)域，這種線一管反應器結(jié)構(gòu)存在反應器放大難的問題，因而對于實際工業(yè)過程中去除大量的污染氣體此種結(jié)構(gòu)就受到很大的限制。

其二、光氧凈化器的工作原理

低溫等離子與催化劑協(xié)同催化轉(zhuǎn)化技術一般可以分為3類：(1)低溫等離子體反應腔與催化劑載體布置在同一空間；(2)催化劑載體布置在低溫等離子體余輝區(qū)；(3)低溫等離子體反應腔與催化劑載體分開布置。

一種屬于一系統(tǒng)，后兩種屬于兩級系統(tǒng)。本文討論的低溫等離子體凈化器屬于上述兩級系統(tǒng)的后者。

1.低溫等離子體的凈化機理

光氧凈化器是指由電子、離子、自由基、激發(fā)態(tài)粒子等組成的導電流體，整體呈電中性，是不同于氣態(tài)、液態(tài)和固態(tài)的第四態(tài)。離子、自由基和激發(fā)態(tài)粒子等都是化學活性較強的物質(zhì)。根據(jù)溫度和內(nèi)部的熱力學平衡性，可將等離子體分為高溫等離子體和低溫等離子體。

低溫等離子體內(nèi)部的電子溫度遠遠高于離子溫度(電子溫度可高達，而離子溫度一般只有300~500K)，系統(tǒng)處于熱力學非平衡態(tài)，整體表現(xiàn)出表面溫度較低。

在常壓下通過電暈或介質(zhì)阻擋放電均可產(chǎn)生低溫等離子體，產(chǎn)生的低溫等離子體中存在大量性較強的自由基(OH，HO2)、臭氧(O3)等，這些具有化學活性的粒子與氣體分子(原子)發(fā)生非彈性碰撞并將能量轉(zhuǎn)換成基態(tài)分子(原子)的內(nèi)能，使很多需要很高活化能的化學反應能夠發(fā)生，使常規(guī)方法難以去除的污染物得以轉(zhuǎn)化或，從而達到凈化物的目的。

2.蜂窩載體催化劑

催化劑多為負載型催化劑，載體是催化劑的一個重要組成部分，早期的載體一般是由活性鋁、硅鎂等為原材料制得的，但其有耐熱性差、強度低、易碎等缺點，到了20世紀80年代后期便被蜂窩式載體所取代。蜂窩式載體根據(jù)材質(zhì)可分為陶瓷式和金屬式兩種。陶瓷載體是由許多薄壁均等小通道構(gòu)成整體，具有氣流阻力小、幾何表面大、無磨損等優(yōu)點。金屬載體具有起燃溫度低、起燃、孔壁薄、能提供大的幾何表面積、開放的集合結(jié)構(gòu)、比陶瓷蜂窩載體有高抗熱沖擊的機械強度、預熱性能好和壓降低等優(yōu)點。不管是陶瓷蜂窩載體催化劑還是金屬蜂窩載體催化劑，其催化原理都是在催化劑表面進行還原反應，將氣體中的成分轉(zhuǎn)換成物。